潔凈室的定義與測(cè)試規(guī)范概述

        凈潔凈室的定義，早是在美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn)，之后日漸普及并廣為半導(dǎo)體業(yè)與制藥業(yè)接受。到了90年代后期，產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到若是無共同標(biāo)準(zhǔn)，就不能實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的化，于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說明潔凈室的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范。

　　Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，209的出版發(fā)行，是在1960年代，之后不斷改版以因應(yīng)科技與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日，美國正式宣布廢止209E，改用ISO-14644，于是209E在書面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界，除了部份的歐洲公司之外，美國、日本、中國臺(tái)灣、與中國大陸，都還沿用209E。

　　ISO-14644系列;美國政府為了推動(dòng)經(jīng)濟(jì)化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644。14644系列有8個(gè)子題，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-9。整個(gè)系列涵蓋了等級(jí)定義、測(cè)試與監(jiān)視的規(guī)范、測(cè)試的程序方法、設(shè)計(jì)與建造、操作、以及其它的有關(guān)設(shè)備等，范圍很廣。

　　JIS B9920 (1989)：日本的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定潔凈室中浮游粒子的濃度測(cè)定方式，及潔凈度的等級(jí)定義。

　　VDI 2083 (1993)：德國的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定潔凈度等級(jí)的定義方式，以及潔凈度的量測(cè)技術(shù)。

　　Gost-R 50766 (1995)：的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，定義潔凈室的分類與一般需求。

　　以上是潔凈室等級(jí)規(guī)定，與潔凈度量測(cè)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。另外有關(guān)潔凈室污染控制(也就是潔凈度控制)，和環(huán)境控制(如溫濕度、震動(dòng)噪音等)，也有一些重要的測(cè)試規(guī)范，因?yàn)檫@些環(huán)境影響因素，都包含在潔凈室性能測(cè)試的范圍之內(nèi)。

　　IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測(cè)試規(guī)范，目的就是為了補(bǔ)209的不足。209只有微粒量測(cè)，006 包括了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫濕度、平行度、恢復(fù)率、粒子沉降測(cè)試、照度等。006 的*版稱為006-84-T，006.2是第二版?，F(xiàn)在由于 NEBB 的興起，0062已經(jīng)功成身退，逐漸消失了。

　　NEBB 潔凈室測(cè)試規(guī)范第二版：這是目前廣為流行的測(cè)試規(guī)范，提到潔凈室認(rèn)證，就非 NEBB 莫屬。NEBB 潔凈室測(cè)試規(guī)范，可說是IEST-0062的改良版，其測(cè)試涵蓋范圍差不多，但是測(cè)試程序更為清楚嚴(yán)謹(jǐn)，儀器使用也有詳細(xì)規(guī)定。因此 NEBB 潔凈室測(cè)試規(guī)范的出現(xiàn)，解決了不少測(cè)試的爭議，也因此 NEBB 潔凈室測(cè)試規(guī)范成功的成為產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

　　每一種行業(yè)，甚至每公司或工廠，對(duì)潔凈室的要求可能都不一樣。